Ионизирующее излучение
<<  Рентгеновское дифракционное излучение ультрарелятивистских заряженных частиц От теории к практике: о проявлениях сильной гравитации в рентгеновских наблюдениях  >>
Кристаллы
Кристаллы
Зонные пластинки
Зонные пластинки
Зонные пластинки
Зонные пластинки
«Линзы» Кумахова
«Линзы» Кумахова
«Линзы» Кумахова
«Линзы» Кумахова
2. Многослойные зеркала
2. Многослойные зеркала
Характеристики МЗ как элемента оптики
Характеристики МЗ как элемента оптики
Характеристики МЗ как элемента оптики
Характеристики МЗ как элемента оптики
3.1. Вакуумный объём
3.1. Вакуумный объём
Электронно-лучевое испарение
Электронно-лучевое испарение
Импульсно-лазерное напыление
Импульсно-лазерное напыление
Ионно-пучковое напыление
Ионно-пучковое напыление
Магнетронное напыление: магнетрон
Магнетронное напыление: магнетрон
Магнетронное напыление: установка
Магнетронное напыление: установка
Магнетронное напыление: установка
Магнетронное напыление: установка
Магнетронное напыление: процесс
Магнетронное напыление: процесс
4. Измерение характеристик
4. Измерение характеристик
4. Измерение характеристик
4. Измерение характеристик
4. Измерение характеристик
4. Измерение характеристик
Межслоевая шероховатость
Межслоевая шероховатость
Внутренние напряжения в МЗ
Внутренние напряжения в МЗ
Внутренние напряжения в МЗ
Внутренние напряжения в МЗ
Внутренние напряжения в МЗ
Внутренние напряжения в МЗ
Картинки из презентации «Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов» к уроку физики на тему «Ионизирующее излучение»

Автор: ВП. Чтобы познакомиться с картинкой полного размера, нажмите на её эскиз. Чтобы можно было использовать все картинки для урока физики, скачайте бесплатно презентацию «Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов.ppt» со всеми картинками в zip-архиве размером 1427 КБ.

Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов

содержание презентации «Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов.ppt»
Сл Текст Сл Текст
1Синтез и основные характеристики 14процесса Финальный синтез.
многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ 153.1. Вакуумный объём. Приемлемое
диапазонов. Семинар студентов и аспирантов давление остаточных газов: P ~ 7 ? 8 ·10-5
ИФМ РАН Докладчик Полковников В.Н. Па Основной вклад – водяные пары.
2План выступления. 1. Рентгеновское Технология синтеза наноструктур начинается
излучение. Рентгенооптические элементы 2. с вакуума! 15.
Многослойные зеркала 3. Методы синтеза 16Электронно-лучевое испарение. Принцип:
многослойных структур 4. Основные нагрев мишени пучком электронов, испарение
характеристики зеркал. 2. и конденсация на подложке. Недостатки:
31.1. Особенности рентгеновского низкая стабильность потока испаренного
излучения. ? = 0.01- 60 нм ?1 - ?? ? 10 -6 вещества; низкая энергия частиц
? 10 -1 im ? ? 0 ? поглощение ? = 1-?+i?, испаренного вещества. 16.
?,? << 1. Рентгеновский и ЭУФ 17Импульсно-лазерное напыление. Принцип:
диапазон. 1) Создание преломляющей оптики использование лазерного излучения для
затруднено. 2) Коэффициенты отражения при «выбивания» материала с поверхности мишени
больших углах скольжения малы. 3. с последующим его осаждением на подложку.
41.2. Элементы рентгенооптики. Элементы Достоинства: Высокая скорость осаждения (v
для управления рентгеновскими пучками ? 104 ? 105 нм/сек) Высокая стабильность
(распространение, направление, угловые и толщины осажденной пленки Высокая энергия
спектральные характеристики). Кристаллы осажденных частиц Недостатки: Зачастую
Зонные пластинки «Линзы» Кумахова высокая энергия частиц является
Многослойные структуры Зеркала Фильтры недостатком. 17.
Поляризаторы. 18Ионно-пучковое напыление. Принцип:
5Кристаллы. Условие Вульфа-Брэгга: использование пучка ионов для распыления
2d?sin? = n? Достоинство: Сочетание материала мишени с последующим осаждением
высоких R с высокой селективностью E/?E его на подложке. Достоинства: Высокая
Недостатки: Зачастую высокая E/?E является стабильность толщины осажденной пленки
недостатком 2d ограничивает спектральный Широкий диапазон энергий распыляющих ионов
диапазон применения (ограничение сверху – (от десятков эВ до нескольких кэВ)
единицы нанометров). 5. Применение для бомбардировки атомов
6Зонные пластинки. Фокусирующий нескольких сортов Возможно распыление
элемент, аналог линзы. Достоинство: практически любых материалов. 18.
Высокое пространственное разрешение 19Магнетронное напыление: магнетрон.
Недостатки: Короткий фокус Ограниченный Принцип: ионы плазмы устремляются к
спектральный диапазон применения. мишени, находящейся под отрицательным
Чередующаяся последовательность прозрачных потенциалом и выбивают атомы материала;
и непрозрачных кольцевых зон Френеля. магнитное поле повышает эффективность
7«Линзы» Кумахова. Принцип: разряда. Достоинства: Высокая стабильность
многократное полное внешнее отражение от толщины осажденной пленки Оптимальная
стенок. Достоинство: Нет ограничения на энергия осажденных частиц Недостатки:
апертуру – высокая светосила Недостатки: Узкий диапазон энергии бомбардирующих
Полихроматичность Угловой разброс ионов (200-400 эВ); затруднено распыление
выходного излучения. магнитных мишеней. 19.
82. Многослойные зеркала. Принцип: 20Магнетронное напыление: установка.
интерференция волн, отражённых от границ Установки в ИФМ РАН: 2-х, 4-х и 6-ти
раздела материалов. Принцип: интерференция магнетронные – распыление до 6 материалов
волн, отражённых от границ раздела в одном технологическом цикле. Линейные
материалов. 2d sin ? = m? d = h1 + h2 d ? размеры подложек до 300 мм. Точность
0.7 ? 30 нм h min = 0.3 ? 0.6 нм N ~ 10 ? нанесения покрытий лучше 0,5% (период 7 нм
1000. – лучше 0,035 по всей площади подложки и
9Отражательные характеристики МЗ. Для вглубь структуры). 20.
заданного угла падения. Первостепенно: 21Магнетронное напыление: процесс. 21.
R(?) в окрестности рабочей ? (Rпик, ??) 22Разработка и синтез МЗ. Выбор
Второстепенно: R(?) во всём диапазоне ? материалов Расчёт отражательных
10Характеристики МЗ как элемента оптики. характеристик Синтез структур Измерение
Система подложка + покрытие Плоская или с характеристик, определение истинных
кривизной Линейные размеры ~ 5-300 мм С параметров Коррекция технологического
постоянным распределением периода по процесса Финальный синтез.
площади или с изменяющимся Сохранение 234. Измерение характеристик. Мягк.
формы. Для систем с кривизной рент. и ЭУФ. Жест. рент. ?=0,154 нм. 23.
распределение периода, как правило, 24Влияние межслоевой шероховатости. Учёт
необходимо. 10. шероховатости ?: R=Ridexp(- 4?2n2?2/d2).
11Разработка и синтез МЗ. Выбор МЗ Mg/Si d=15 нм. МЗ La/B4C d=3.5 нм. 24.
материалов Расчёт отражательных 25Межслоевая шероховатость. Методы:
характеристик Синтез структур Измерение Вариация энергии распыляющих ионов
характеристик, определение истинных Осаждение барьерных слоев Ионное
параметров Коррекция технологического ассистирование и полировка. 25.
процесса Финальный синтез. 26Влияние плотности плёнок. Поскольку
12Выбор материалов. ? = 1-?+i? 1. Выбор ?=f(?), то R=F(?). Зависимость R от ? La
базового материала Im (?1) минимальна 2. для МЗ La/B4C. 26.
Выбор контрастного материала 27Влияние непериодичности структуры.
|Re(?2-?1)|/Im (?2) максимально. ? = 32 нм Сравнение 1-го брэгговского пика (?=0,154
1 – Mg Отношение: Пара Mg/Al – 3,8 Пара нм) для периодического МЗ La/B4C d=3,5 нм
Mg/Si – 6,8. и МЗ с линейным уходом периода от 3,5 нм
13Расчёт характеристик. 1. Приближённый до 3,57 нм. 27.
метод медленных амплитуд | ?2-?1| << 28Разработка и синтез МЗ. Выбор
1 Преимущества: рецепт выбора материалов и материалов Расчёт отражательных
параметров структуры, R=f(?2-?1, d, ?) характеристик Синтез структур Измерение
Недостатки: неточное решение, решение характеристик, определение истинных
вдали от брэгговских пиков отсутствует, параметров Коррекция технологического
только для периодических структур 2. процесса Финальный синтез.
Точный метод рекуррентных соотношений 29Внутренние напряжения в МЗ. Негативные
Преимущества: точное решение для последствия. Отслаивание плёнки.
периодических и апериодических структур Скручивание при стравливании. Деформация
Недостатки: нет рецепта выбора материалов, подложки. 29.
оптимизация параметров подгонкой, R=f(?1, 30Внутренние напряжения в МЗ.
?1, ?2, ?2, d, ?). 13. Требование: точность формы поверхности
14Разработка и синтез МЗ. Выбор элемента схемы 0,3-0,6 нм. Осаждённое на
материалов Расчёт отражательных подложку МЗ может привести к искажению
характеристик Синтез структур Измерение формы на десятки нм! 30.
характеристик, определение истинных 31Спасибо за внимание. 31.
параметров Коррекция технологического
Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов.ppt
http://900igr.net/kartinka/fizika/sintez-i-osnovnye-kharakteristiki-mnogoslojnykh-zerkal-rentgenovskogo-i-euf-diapazonov-118334.html
cсылка на страницу

Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов

другие презентации на тему «Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов»

«Зеркала» - Выпуклое зеркало. Радиус кривизны сферического зеркала R = 2F По теореме Пифагора находим, что: Плоские зеркала, расположенные под углом. Комната abcd, зеркало mn. Отражение параллельного пучка лучей от выпуклого зеркала. Посеребренная сфера рассечена на две части плоскостью. Решение задач. Математика зазеркалья.

«Рентгеновское излучение» - Как и видимый свет, рентгеновское излучение вызывает почернение фотопленки. Рентген открыл излучение в 1895. Основные свойства рентгеновского излучения. Приемники рентгеновского излучения. Рентгеновские лучи излучаются при больших ускорениях электронов. Радиационная селекция — наука очень молодая. Невидимые лучи лечат опухоль.

«Синтез белков» - Жиров. Введение Генетический код Транскрипция Трансляция. Обеспечивающей перевод информации. Дано: белок инсулин – 51аминокислота. Назовите основные свойства генетического кода? Матричный синтез. Основные понятия. Ген Транскрипция Трансляция Матричный синтез. Избыточность: каждая аминокислота может определяться более чем одним триплетом.

«Синтез искусств в театре» - Баба-Яга в ступе. Объединяют драматическое, музыкальное и изобразительное искусство. Сцена из балета «Спящая красавица». Юнона и Авось. Мюзикл – сливаются драматическое, музыкальное, вокальное, хореографическое и пластическое искусства. Лиотар. Иллюстрация к роману Ж. Верна «20 тысяч лье под водой».

«Синтез искусств» - Готический стиль в архитектуре Средневековья. Собор Нотр-Дам в Реймсе. Романский период Средневековья. XIII век. Мозаика купола Софийского собора. Современный вид. Русская средневековая архитектура. Монументальная живопись захватывает не только стены, но и своды, купола и окна, где появляется разноцветные витражи.

«Синтез плазмы» - История «рождения» плазмы. Примерная стоимость 5 млрд. евро. Проектные параметры ИТЭР. Содержание презентации. Типы элементарных процессов в плазме. 5. Подготовил: Студент 2 курса «ИМО» Горбачев Никита. Термоядерный синтез. Создание ТОКАМАКА. Спасибо за внимание. Место строительства: Кадараш, Франция.

Ионизирующее излучение

11 презентаций об ионизирующем излучении
Урок

Физика

134 темы
Картинки
900igr.net > Презентации по физике > Ионизирующее излучение > Синтез и основные характеристики многослойных зеркал рентгеновского и ЭУФ диапазонов